東芝、高精度ジャイロセンサーの小型モジュール開発

ドローンなど搭載可能、高速応答ジャイロセンサーをMEMSで小型化

　東芝が、動作に伴う物体の向きの変化を高精度に検出することができる角度直接検出型のジャイロセンサーとして、小型モジュールの開発に世界で初めて成功した。同社によれば、大型の計測制御装置などを必要としないという。大型の計測制御装置などが不要なことから、ドローンやロボット、無人搬送車など、従来は難しかった小型機器への搭載・実証実験が可能となるとしている。
　また小型モジュールでは、機器が回転する角速度（角度の時間変化）を計測し、それを演算して角度を求める一般的なジャイロセンサーと異なり、機器が回転する角度を直接計測することで高精度と高速応答の両立を可能とした。
　東芝は小型化に成功した背景として、微細な機械構造と電子回路を半導体基板上に集積させるMEMS技術を用いてセンサ素子を小型化し、マイクロコントローラーから制御することで、実証実験に適用可能なサイズまでモジュールの小型化を達成したとしている。
　ジャイロセンサーは大型で高性能なものは航空機などに使われており、・・・